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Y09-010水霧氣溶膠發(fā)生器,適用于潔凈廠房,局部潔凈環(huán)境的氣流流型攝像及錄影。根據(jù)ISO14644-3及新 GMP 對潔凈廠房驗(yàn)收需要對氣流方向進(jìn)行評價。Y09-010型純水型煙霧發(fā)生器可以產(chǎn)生高濃度水 蒸氣(粒徑范圍:1-10um集中度80%以上),高可見度及無污染。當(dāng)水蒸氣在潔凈室 內(nèi)散發(fā)后,沒有可測的殘留物質(zhì)。Y09-010型可適用于半導(dǎo)體潔凈車間。
氣溶膠光度計(jì),秉承簡化操作和使用中免維護(hù)的理念為用戶而設(shè)計(jì)。它的基本的用途是偵測并測量空氣中氣溶膠的濃度,通過上下游數(shù)據(jù)比對,來確認(rèn)高效過濾器是否存在泄漏。內(nèi)建多種傳感器,以確保儀器始終處于良好的運(yùn)行狀態(tài)。